發(fā)布時(shí)間：2017-11-01 10:13

  本文關(guān)鍵詞：磁控濺射法制備摻雜ZnO透明導(dǎo)電薄膜及其研究進(jìn)展

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【摘要】：磁控濺射技術(shù)以其顯著的優(yōu)點(diǎn)已成為工業(yè)鍍膜主要技術(shù)之一。充分發(fā)揮磁控濺射鍍膜技術(shù)的現(xiàn)有優(yōu)勢(shì),尋找新的增長(zhǎng)點(diǎn),成為近年來(lái)人們研究的熱點(diǎn)。介紹了磁控濺射鍍膜技術(shù)的原理、特點(diǎn);總結(jié)了近來(lái)磁控濺射法制備摻雜ZnO薄膜,主要是Al摻雜、Si摻雜、Al-H共摻雜ZnO薄膜的研究進(jìn)展。并在此基礎(chǔ)上對(duì)摻雜ZnO透明導(dǎo)電薄膜的發(fā)展趨勢(shì)進(jìn)行了展望。
【作者單位】： 海南大學(xué)材料與化工學(xué)院海南省特種玻璃重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室;
【關(guān)鍵詞】： 磁控濺射 ZnO透明導(dǎo)電薄膜 摻雜
【基金】：科技部國(guó)家支撐計(jì)劃(2013BAE03B02) 海南省科技廳重大科研專項(xiàng)(ZDZX2013002)
【分類號(hào)】：TB383.2
【正文快照】： (Special Glass Laboratory of Hainan Province,College of Materials and Chemical Engineering,Hainan University,Haikou 570228)*科技部國(guó)家支撐計(jì)劃(2013BAE03B02);海南省科技廳重大科研專項(xiàng)(ZDZX2013002)段光申:男,1990年生,碩士生,主要研究方向?yàn)樘胤N玻璃制備與應(yīng)用E-

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