發(fā)布時間：2018-01-08 08:40

  本文關(guān)鍵詞：高精度角位移平臺的研制及誤差補(bǔ)償　出處：《儀器儀表學(xué)報》2016年05期 　論文類型：期刊論文

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【摘要】：在拉曼光譜儀中,要求承載分光元件轉(zhuǎn)動的角位移平臺在具備較大的轉(zhuǎn)動范圍、較高的轉(zhuǎn)角分辨率和轉(zhuǎn)角定位精度的同時還具備較快的轉(zhuǎn)動速度,傳統(tǒng)的幾種驅(qū)動方式很難同時滿足上述所有要求。有鑒于此,設(shè)計了一種采用力矩電機(jī)直接驅(qū)動技術(shù)的高精度角位移平臺。一般控制方法的控制精度在很大程度上依賴于反饋元件的測量精度,為了突破反饋元件測量精度對整個控制精度的影響,采用了一種更為精確的誤差補(bǔ)償校正技術(shù),并搭建了誤差測量裝置,將測得的絕對轉(zhuǎn)角誤差在控制器中通過一定的控制算法加以有效的補(bǔ)償。最后,對結(jié)構(gòu)設(shè)計和誤差補(bǔ)償校正的效果進(jìn)行了實驗檢測。結(jié)果顯示:當(dāng)測量步距為1°時,雙向絕對定位精度優(yōu)于1.008″;當(dāng)測量步距為10°時,雙向絕對定位精度為0.648″;回轉(zhuǎn)軸系的軸向晃動誤差小于±5″。以上結(jié)果驗證了該角位移平臺具有機(jī)械精度高、轉(zhuǎn)角分辨率高、定位準(zhǔn)確等技術(shù)優(yōu)勢,能夠滿足拉曼光譜儀等相關(guān)儀器的使用需求。
[Abstract]:In the Raman spectrometer, bearing light splitting element rotating angular displacement platform with large rotation range, high angle resolution and angular positioning precision at the same time also has the high rotation speed, several traditional driving mode is difficult to meet all the above requirements. Therefore, the design of a high precision angular displacement of the platform torque motor direct drive technology. The measurement precision control precision control method greatly depends on the feedback element, in order to break through the element influence on the measurement accuracy of feedback control accuracy, a more accurate error compensation technology, and set up the error measuring device, the absolute angular error measurement in the controller through a control algorithm to be compensated effectively. Finally, the structure design and error compensation effect was experimentally. Test. The results showed that when the measurement step is 1 degrees, two absolute positioning accuracy is superior to 1.008 "; when the measuring step is 10 degrees, two absolute positioning precision is 0.648"; the axial shaking error of spindle is less than 5 ". The above results show that the angular displacement platform with high precision machinery. The angle of high resolution, accurate positioning and other technical advantages, can meet the use of Raman spectrometer and other related equipment needs.

【作者單位】： 中國科學(xué)院長春光學(xué)精密機(jī)械與物理研究所;中國科學(xué)院大學(xué);吉林大學(xué)機(jī)械科學(xué)與工程學(xué)院;
【基金】：國家重大科學(xué)儀器設(shè)備開發(fā)專項(2014YQ120351) 國家重大科研裝備研制項目(ZDYZ2008-1) 國家重點基礎(chǔ)研究發(fā)展計劃(973)(2014CB049500) 吉林省科技發(fā)展計劃(20140204075GX)項目資助
【分類號】：TH744.1
【正文快照】： 1引言高精度的角度位移平臺在精密機(jī)械、光譜儀器、光電設(shè)備、高檔數(shù)控機(jī)床等許多場合都有著非常廣泛的應(yīng)用。在拉曼光譜儀、單色儀等光學(xué)儀器中,作為分光元件的棱鏡或光柵需繞通過回轉(zhuǎn)中心的軸線做某些特定規(guī)律的回轉(zhuǎn)運動,儀器波長與分光元件轉(zhuǎn)角之間具有一定的函數(shù)關(guān)系[1-3]

【相似文獻(xiàn)】

相關(guān)期刊論文 前3條

1 劉紀(jì)茍,端木時夏;微機(jī)輔助定位誤差補(bǔ)償方法[J];儀器儀表學(xué)報;1987年03期

2 閆威;張軍偉;吳文龍;王逍;母杰;李志林;粟敬欽;林東暉;;光參量放大晶體拼接機(jī)構(gòu)設(shè)計及拼接誤差補(bǔ)償[J];中國激光;2014年07期

3 ;[J];;年期

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本文編號：1396423