本文關(guān)鍵詞：面陣CCD自準(zhǔn)直測量系統(tǒng)研究，，由筆耕文化傳播整理發(fā)布。

面陣CCD自準(zhǔn)直測量系統(tǒng)研究 摘要 自準(zhǔn)直儀是一種高精度的小角度測量儀器，可用于多面棱體、多齒分度臺(tái) 的檢定，還可用于直線度、平面度、相對角位置偏差的測量，它是精密測量、 精密加工、儀器制造及相關(guān)科研、計(jì)量部門必不可少的檢測儀器。 目前國內(nèi)的高精度自準(zhǔn)直儀多為一維測量，且測量范圍小，智能化程度低。 隨著科技的進(jìn)步與發(fā)展，儀器制造行業(yè)對精密計(jì)測技術(shù)有了更高的要求，特別 是電子技術(shù)、傳感技術(shù)、計(jì)算機(jī)技術(shù)以及現(xiàn)代信號(hào)處理技術(shù)在精密儀器中的廣 泛應(yīng)用，研制一種新型的高精度雙軸自準(zhǔn)直儀已成為必要和可能。 本課題是采用新型的圖像傳感器面陣CCD作為光電轉(zhuǎn)換器，應(yīng)用自準(zhǔn)直測 量原理，研制一種新型的、高精度、雙軸、大范圍、智能化的自準(zhǔn)直儀。研制 工作包括對儀器的機(jī)械結(jié)構(gòu)、光學(xué)系統(tǒng)、硬件電路和軟件系統(tǒng)的設(shè)計(jì)、安裝、 調(diào)制及最終的檢測驗(yàn)證。 在光學(xué)系統(tǒng)中，采用了高性能的LED發(fā)光管組成的陣列光源，采用了折反 式光路，減小儀器體積。 在硬件電路中，采用DSP嵌入式開發(fā)系統(tǒng)，提高數(shù)據(jù)的處理速度，使用可 編程邏輯器件FPGA實(shí)現(xiàn)對外圍接口電路的邏輯控制。 在軟件系統(tǒng)中，研究了CCD亞像元細(xì)分原理并建立了數(shù)學(xué)模型，采用軟件 細(xì)分的辦法，使測量的分辨力和精度大大提高，在軟件的編制上，采用C語言 編程，模塊化設(shè)計(jì)，具有良好的結(jié)構(gòu)、可讀性和可移植性的特點(diǎn)，在人機(jī)交互 方面做了大量的工作，測量界面豐富，使儀器具有良好的操作性。 對樣機(jī)進(jìn)行了各項(xiàng)性能和技術(shù)指標(biāo)的檢測，并對誤差進(jìn)行了分析。樣機(jī)測 量范圍大于+300“，測量精度0．2”，分辨力優(yōu)于0．01”。 關(guān)鍵詞：CCD，自準(zhǔn)直儀，細(xì)分，DSP

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