發(fā)布時間：2024-05-24 20:15

　　大面積高精度光柵刻劃機(jī)結(jié)構(gòu)復(fù)雜,零部件的誤差分配要求極其嚴(yán)格,其加工精度要達(dá)到納米級別,因此任何外部環(huán)境擾動帶來的影響都可能影響光柵刻劃機(jī)定位精度和加工精度,必須采取有效的隔振方案減小外部環(huán)境振動對光柵刻劃機(jī)定位精度和加工精度的影響。本文通過調(diào)研光柵刻劃機(jī)工作環(huán)境,引入負(fù)剛度原理降低光柵刻劃機(jī)隔振平臺的固有頻率,采用復(fù)合隔振方法對對光柵刻劃機(jī)隨機(jī)振動進(jìn)行了分析。主要研究內(nèi)容如下:(1)調(diào)研光柵刻劃機(jī)工作環(huán)境并分析影響其精度的環(huán)境振動因素及其來源和頻率范圍;根據(jù)光柵刻劃機(jī)定位誤差隨刻線數(shù)目變化確定影響光柵刻劃機(jī)定位誤差的主要因素;分析了人行激勵影響和環(huán)境振動傳遞路徑。(2)基于點磁荷模型和虛功原理建立矩形永磁體的剛度位移模型,闡明了磁鐵間距、磁鐵形狀對磁引力負(fù)剛度非線性度的影響,通過優(yōu)化降低了磁力負(fù)剛度結(jié)構(gòu)非線性度;磁力負(fù)剛度結(jié)構(gòu)與空氣彈簧進(jìn)行并聯(lián)將光柵刻劃機(jī)隔振平臺的固有頻率降低到1Hz以下。(3)建立光柵刻劃機(jī)隔振平臺六自由度動力學(xué)模型,通過解耦的方法將隔振平臺的動力學(xué)模型轉(zhuǎn)化為六個單輸入單輸出模型;在PID控制基礎(chǔ)上,針對PID無法調(diào)節(jié)參數(shù)的問題引入模糊神經(jīng)網(wǎng)絡(luò)拓?fù)浣Y(jié)構(gòu),構(gòu)建模糊神...

【文章頁數(shù)】：78 頁

【學(xué)位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖2.1單自由度質(zhì)量-彈簧系統(tǒng)

精密測量、精密加工和航空航天技術(shù)等的發(fā)展，要求更加嚴(yán)格實驗環(huán)境、抗振性、動態(tài)穩(wěn)定性及超微細(xì)測試加工精度等預(yù)知精密設(shè)備的工作環(huán)境不盡相同，很難設(shè)計一種隔振結(jié)構(gòu)滿足所此需要對不同精密設(shè)備工作環(huán)境進(jìn)行分析，找出其工作環(huán)境引面積高精度光柵刻劃機(jī)具有十分復(fù)雜的結(jié)構(gòu)，各個零部件的誤格，同時要....

圖2.2光柵刻劃機(jī)定位誤差隨刻線數(shù)的變化情況

動問題的研究目前分別集中在兩個方面：頻域研究者集中在頻域進(jìn)行研究。然而對于光柵刻角度出發(fā)，因為刻劃機(jī)振動評價標(biāo)準(zhǔn)是基于隔振度。王海、周叮[47]將人體表示為均勻分布的剛度方法對簡支梁的振動進(jìn)行了數(shù)值仿真分析，最終結(jié)果對比分析。同濟(jì)大學(xué)的陳雋[48]等人對單足落讓實驗者以不同的行走....

圖2.3人體動力學(xué)模型

為1.6-2.4Hz�，F(xiàn)有研究中人行激勵的加載方法可以分為傅方法、單步落足荷載模型加載方法、雙足荷載模型加載方研究者們應(yīng)用較多的一種方法，其考慮的是成人正常走動負(fù)載的疊加，但是其步行力的第k階諧波無法確定；單步人正常走動過程中單只腳作用于地面的力，該方法能夠模；雙足模型將人腿....

圖2.4單足落步曲線

圖2.5行走時程曲線Fig.2.5Timehistorycurveunderwalking單人行走過程中人行激勵的加載進(jìn)行統(tǒng)一公式表達(dá)，但實式中的表達(dá)復(fù)雜，工作人員在下班過程中往往是幾個人一情況較多，因此對人行激勵的計算無法達(dá)到精確值，但為實際取值應(yīng)選擇對振動影響....

本文編號：3981185