微型熱式流量傳感器專利技術(shù)綜述
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【部分圖文】:
圖1申請(qǐng)量年度分布圖
圖3為專利申請(qǐng)?jiān)瓌?chuàng)國(guó)和地區(qū)/目標(biāo)國(guó)和地區(qū),由圖中可以看出,在原創(chuàng)國(guó)和地區(qū)中,日本專利申請(qǐng)量居于首位,美國(guó)技術(shù)產(chǎn)出比重僅次于日本,居于第二位,其次是德國(guó)和中國(guó),分別位居第三位和第四位。以上排名基本體現(xiàn)了目前國(guó)際上微型熱式流量傳感器在各個(gè)國(guó)家的技術(shù)能力。根據(jù)專利申請(qǐng)的公開(kāi)號(hào)進(jìn)行分析,....
圖3原創(chuàng)國(guó)和地區(qū)/目標(biāo)國(guó)和地區(qū)
進(jìn)入20世紀(jì)90年代后,由于微加工工藝和微電子工藝的成熟,這一時(shí)期的專利申請(qǐng)較多,涉及不同結(jié)構(gòu)和多種材料的改進(jìn),例如微型熱線風(fēng)速計(jì)、微型熱膜探頭、微型熱分布式流量傳感器等。在傳感器件的材料上也有了更多選擇,除了金屬薄膜電阻外,還可以采用多晶硅摻雜形成加熱元件;而對(duì)于熱敏感元件,可....
圖4技術(shù)演進(jìn)路線
圖3原創(chuàng)國(guó)和地區(qū)/目標(biāo)國(guó)和地區(qū)此后一段時(shí)期,由于微加工工藝和微電子工藝趨于成熟,這一時(shí)期的專利申請(qǐng)量有所回落,且對(duì)于微型熱式流量傳感器的研究逐漸傾向于信號(hào)處理和溫度補(bǔ)償方面,主要涉及測(cè)量電路的優(yōu)化、流量信號(hào)的補(bǔ)償和校正以及多維度測(cè)量。未來(lái)微型熱式流量傳感器將朝向微型化、智能化、....
圖2申請(qǐng)量區(qū)域分布
為了比較各國(guó)在微型熱式流量傳感器技術(shù)領(lǐng)域的研發(fā)能力與水平,對(duì)專利申請(qǐng)所在國(guó)家和地區(qū)產(chǎn)權(quán)組織分布進(jìn)行統(tǒng)計(jì),如圖2所示,可以看出,日本、美國(guó)、德國(guó)和中國(guó)申請(qǐng)量較高,共同占據(jù)了所有專利申請(qǐng)的86%,其中日本占37%,美國(guó)占21%,德國(guó)占16%,中國(guó)占12%。這主要是因?yàn)槿毡、美?guó)、德國(guó)....
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