發(fā)布時(shí)間：2024-05-10 03:48

　　微鏡振動(dòng)掃描技術(shù)已經(jīng)較為廣泛地應(yīng)用在激光雷達(dá)、光學(xué)顯示等科技領(lǐng)域,然而這種掃描通常是開環(huán)的,缺少對(duì)諧振微鏡的實(shí)時(shí)角度同步測(cè)量反饋。本文提出一種基于單個(gè)光電二極管(PD)作為探測(cè)器的FPCB諧振微鏡集成角度測(cè)量機(jī)理,建立了一種在諧波信號(hào)驅(qū)動(dòng)下的諧振微鏡同步測(cè)量模型和理論計(jì)算方法。通過對(duì)PD信號(hào)的測(cè)量計(jì)算處理,能夠?qū)υ诠鈱W(xué)角度60°范圍內(nèi)往復(fù)偏轉(zhuǎn)的FPCB微鏡進(jìn)行掃描角度的實(shí)時(shí)測(cè)量監(jiān)控。通過聯(lián)合采用PSD與柵格紙實(shí)測(cè)驗(yàn)證的方法,對(duì)諧振響應(yīng)的相位滯后角度,微鏡掃描角度幅值進(jìn)行了對(duì)比驗(yàn)證。結(jié)果表明,本測(cè)量機(jī)理相位滯后誤差小于6%,角度幅值誤差小于5%。該測(cè)量機(jī)理有效地解決了掃描微鏡實(shí)時(shí)旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量與有限空間布置問題,能有效地降低成本。

【文章頁(yè)數(shù)】：7 頁(yè)

【部分圖文】：

圖1FPCB掃描微鏡結(jié)構(gòu)圖

本文主要研究諧波震蕩FPCB微鏡,選擇采用單個(gè)光電二極管探測(cè)器(PD,PhotodiodeDetector)對(duì)信號(hào)進(jìn)行檢測(cè)和數(shù)字化處理作為集成微鏡旋轉(zhuǎn)角度的感應(yīng)檢測(cè)機(jī)理。這種方法具有成本低、信號(hào)易處理的優(yōu)點(diǎn)。除了首次開發(fā)用于FPCB微鏡的集成角度傳感測(cè)量機(jī)理外,本文的另一項(xiàng)創(chuàng)新....

圖2諧振微鏡同步角度測(cè)量裝置設(shè)計(jì)

測(cè)量系統(tǒng)設(shè)置如圖2所示,用于測(cè)量的激光源放置在微鏡背面一側(cè),激光經(jīng)過背面鏡片反射后,被投射到光電二極管探測(cè)器PD所在的像平面上。測(cè)量機(jī)制原理如圖3所示,當(dāng)FPCB微鏡處于平衡位置,激光束從D點(diǎn)射向背面微鏡的中心O點(diǎn),并被反射到光電二極管所在的相平面中的A點(diǎn)。此時(shí),D、O、A點(diǎn)組成....

圖3諧振微鏡旋轉(zhuǎn)角度測(cè)量原理圖

圖2諧振微鏡同步角度測(cè)量裝置設(shè)計(jì)θp=12arctan(ba)(1)

圖4驅(qū)動(dòng)信號(hào)、PD信號(hào)與微鏡角度之間的相位滯后關(guān)系原理圖

θp=θ0sin(ωt1-Δφ)(3)圖4展示了驅(qū)動(dòng)信號(hào)與FPCB微鏡旋轉(zhuǎn)角度函數(shù)之間相位滯后的關(guān)系原理。如圖所示,圖4(a)為驅(qū)動(dòng)信號(hào),圖4(b)為光電二極管測(cè)量信號(hào),由于反射光線一個(gè)周期內(nèi)兩次通過光電二極管時(shí)微鏡的偏轉(zhuǎn)角度都是θp,并且這兩個(gè)時(shí)刻相對(duì)微鏡偏轉(zhuǎn)角度在....

本文編號(hào)：3968673