發(fā)布時間：2024-12-07 06:29

　　隨著IC工藝設(shè)計水平的提高,目前對單個工藝參數(shù)進行工序能力評價已不能滿足實際工藝生產(chǎn)的要求,必須考慮多個工藝參數(shù)共同對產(chǎn)品質(zhì)量整體的作用。為此目的,多變量工序能力指數(shù)的應用被提上日程。本文首先介紹了目前國際上現(xiàn)有的基于工藝規(guī)范的多變量工序能力指數(shù)定義并對其優(yōu)缺點作了分析和研究。然后提出了基于成品率的多變量工序能力指數(shù)模型,并且根據(jù)概率乘法定理,利用以條件數(shù)學期望和方差為參數(shù)的一維正態(tài)分布近似代替原來的條件分布,從而得出計算二維標準正態(tài)分布函數(shù)值的近似公式。通過數(shù)值積分結(jié)果比較表明,近似公式計算簡單,應用方便,精度較好。從而保證了基于成品率的多變量工序能力指數(shù)模型的可行性與精確度。在對二維正態(tài)分布的點估計研究基礎(chǔ)之上,介紹了針對該分布的優(yōu)化擬合方法。其中介紹了樣本數(shù)據(jù)的二維正態(tài)性檢驗方法及多維數(shù)據(jù)經(jīng)驗分布函數(shù)的不同定義。最后,對基于主成分權(quán)重的多變量工序能力指數(shù)模型作了改進,使之能夠更為全面的表征工藝工序能力水平。同時提出了基于因子權(quán)重的多變量工序能力指數(shù)模型。通過實例對比表明,基于工藝成品率的多變量工序能力指數(shù)模型更為實用化。

【文章頁數(shù)】：81 頁

【學位級別】：碩士

【部分圖文】：

圖2-1工藝參數(shù)分布中心μ與規(guī)范中心0T偏離1.5σ

工序能力指數(shù)PkC序能力指數(shù)的定義的元器件生產(chǎn)中，工藝參數(shù)分布中心μ與工藝規(guī)范中心0T，因為在整個工藝流程中不可能全部采用閉環(huán)工藝控制，制，因此在加工工藝參數(shù)時，不可能精確控制元器件某一藝參數(shù)規(guī)范中心值處時結(jié)束該道生產(chǎn)工序，實際上都是先結(jié)果調(diào)整工藝條件。即使是在閉環(huán)工藝控制條件....

圖2.3兩道工序數(shù)據(jù)概率分布圖(pkC=0.50)

pkC=0.50)分析圖2.3中兩道工序?qū)�應不同的成品率的原因，主要是因為pC表征的是工序的潛在能力，規(guī)范區(qū)間的中間值必須和樣本均值重合，而實際工序能力指數(shù)沒有這樣的要求。因此當樣本均值和規(guī)范區(qū)間中間值不重合，并且標準偏差也不一樣時，可以得出相同的工序能力指數(shù)，但是成品率卻不....

圖2.4不同偏離情況下工藝不合格品率PPM值與工序能力指數(shù)的關(guān)系

可以得出相同的工序能力指數(shù)，但是成品率卻不相同。對正態(tài)分布的工藝參數(shù)，在工藝參數(shù)規(guī)范中心與工藝參數(shù)分布中心重合以及不同偏離情況下，工藝不合格品率與工序能力指數(shù)的關(guān)系如圖2.4所示：圖2.4不同偏離情況下工藝不合格品率PPM值與工序能力指數(shù)的關(guān)系pC只是反映了工藝規(guī)范控制限與工....

圖2.5二維情形下工藝規(guī)范和99.73%工藝分布區(qū)域式(2-14)的具體表達式由Jessenberger.C.Weihs[40]

由數(shù)理統(tǒng)計理論知，當工藝數(shù)據(jù)服從多維正態(tài)分布時2R是橢圓（或橢球）區(qū)域。下圖2.5以二維情況為例，說明了工藝規(guī)范和工藝分布區(qū)域。圖2.5二維情形下工藝規(guī)范和99.73%工藝分布區(qū)域式(2-14)的具體表達式由Jessenberger.C.Weihs[40]提出，稱之為....

本文編號：4014954