發(fā)布時(shí)間：2025-06-04 00:45

　　由于半導(dǎo)體工業(yè)的快速發(fā)展,透明導(dǎo)電氧化物（TCO）薄膜材料在太陽(yáng)能電池、觸控面板、發(fā)光二極管以及窗口材料等領(lǐng)域的應(yīng)用越來(lái)越廣泛,但是到目前為止,大多數(shù)工業(yè)領(lǐng)域的TCO材料還是以氧化銦錫（ITO）為主,由于銦屬于稀有金屬、儲(chǔ)量有限,因此隨著TCO材料需求的進(jìn)一步擴(kuò)大,研制新型TCO材料代替ITO薄膜的需求已經(jīng)愈加急迫。氧化鋅（ZnO）作為一種新型的Ⅱ-Ⅵ族半導(dǎo)體材料具有優(yōu)良的光電、壓電和鐵電特性,并且通過(guò)摻雜可以進(jìn)一步提高ZnO薄膜的光電性能,同時(shí)ZnO的原材料在自然界中儲(chǔ)量豐富、成本低廉,被認(rèn)為是最具潛力代替ITO薄膜的TCO材料。到目前為止人們對(duì)ZnO基薄膜單元素?fù)诫s進(jìn)行了非常廣泛的研究,但是對(duì)于ZnO薄膜二元摻雜的研究還很有限。本文將以高密度鈦鎂共摻氧化鋅（TMZO）陶瓷靶為濺射源,通過(guò)射頻磁控濺射技術(shù)在石英玻璃襯底上制備高質(zhì)量TMZO薄膜,所使用的TMZO陶瓷靶的質(zhì)量分?jǐn)?shù)比為96 wt%ZnO:2 wt%TiO₂:2wt%MgO。利用X射線衍射儀（XRD）、X射線能譜儀（XPS）、掃描電子顯微鏡（SEM）、紫外-可見光分光光度計(jì)和霍爾效應(yīng)儀等測(cè)試儀器詳細(xì)研究了...

【文章頁(yè)數(shù)】：83 頁(yè)

【學(xué)位級(jí)別】：碩士

【部分圖文】：

圖2.1KDJ-567型超高真空多功能復(fù)合鍍膜設(shè)備的實(shí)物圖

圖2.1KDJ-567型超高真空多功能復(fù)合鍍膜設(shè)備的實(shí)物圖及襯底處理三種ZnO基靶材，分別為純氧化鋅（ZnO）陶瓷靶和鈦鎂共摻氧化鋅（TMZO）陶瓷靶。靶材的純度m，其中ZnO陶瓷靶由純ZnO粉末燒結(jié)而成，YMgO粉末燒結(jié)而成，TMZO陶瓷靶由ZnO粉....

圖2.3X射線衍射原理圖

2.3X射線衍射原理圖O晶體為例，其（002）晶面衍射角θ=34.40，此時(shí)晶格常數(shù)（c）可由公式[38]（2.222222l43clahkhk+++=，,。由晶面間距可以計(jì)算薄膜內(nèi)應(yīng)變（ε）[39]100%00×=dddε，ε，可以由公式（....

圖2.4XPS的工作原理示意圖

圖2.4XPS的工作原理示意圖首先會(huì)從X射線源中發(fā)射出X射線照射被X射線激發(fā)，當(dāng)射線的能量達(dá)到閾值時(shí)出電子進(jìn)行收集、分析，對(duì)其特定的能量如X射線能量為E，在入射過(guò)程中E轉(zhuǎn)化動(dòng)能（Ek），這三個(gè)能量滿足關(guān)系式：析器所收集，通過(guò)光譜分析可以得到樣品譜與譜峰....

圖2.6TU-1901型雙光束紫外-可見分光光度計(jì)的實(shí)物圖

圖2.6TU-1901型雙光束紫外-可見分光光度計(jì)的實(shí)物圖光度計(jì)測(cè)量得到的薄膜樣品吸收光譜或透射光譜可以用來(lái)研相互作用。對(duì)半導(dǎo)體薄膜而言，不同摻雜體系的TCO薄膜形貌，同時(shí)具有不同的光學(xué)禁帶寬度和紫外吸收邊，并且存，就是在單色光輻射照射到薄膜表面時(shí)，當(dāng)其波長(zhǎng)λ小于吸....

本文編號(hào)：4049063