無(wú)線(xiàn)無(wú)源磁電聲表面波傳感器的測(cè)試技術(shù)研究
【文章頁(yè)數(shù)】:83 頁(yè)
【學(xué)位級(jí)別】:碩士
【部分圖文】:
圖1-1基于LiNb03延遲線(xiàn)的MSAW器件⑻70?MHz測(cè)試結(jié)果;(b)?3階諧波測(cè)試結(jié)果口??
術(shù)極少應(yīng)用于磁電SAW的檢測(cè),因此本文的研??究目標(biāo)在于搭建高速、便攜測(cè)試的無(wú)線(xiàn)問(wèn)詢(xún)系統(tǒng)。??1.2國(guó)內(nèi)外研究歷史與現(xiàn)狀??1.2.1磁電聲表面波傳感器??1975年,K.Ganguly等人提出了在聲表面波器件延遲線(xiàn)表面沉積磁致伸縮薄??膜,通過(guò)外加磁場(chǎng)控制相速度,以實(shí)現(xiàn)磁傳感的....
圖1-2?Michio?Kadota等人設(shè)計(jì)的(a)?MSAW器件結(jié)構(gòu);(b)?3種叉指電極結(jié)構(gòu)[26】??
術(shù)極少應(yīng)用于磁電SAW的檢測(cè),因此本文的研??究目標(biāo)在于搭建高速、便攜測(cè)試的無(wú)線(xiàn)問(wèn)詢(xún)系統(tǒng)。??1.2國(guó)內(nèi)外研究歷史與現(xiàn)狀??1.2.1磁電聲表面波傳感器??1975年,K.Ganguly等人提出了在聲表面波器件延遲線(xiàn)表面沉積磁致伸縮薄??膜,通過(guò)外加磁場(chǎng)控制相速度,以實(shí)現(xiàn)磁傳感的....
圖1-5?AlN/FeGaB雙層結(jié)構(gòu)的MEMS諧振型磁場(chǎng)傳感器[28]??
?第一章緒論???他們深入分析了不同方向的外部磁場(chǎng)與器件Q值的關(guān)系,并且比較了采用??TbFe2電極的器件的性能,證明Ni電極MSAW器件磁敏性能優(yōu)于TbFe2電極的??MSAW器件[26],測(cè)試結(jié)果如圖1-3所示。????400.????麵[??B,?400???1側(cè)[一?一?....
圖1-3?(a)?MSAWQ值;(b)Ni電極頻率-磁場(chǎng)曲線(xiàn);(c)?TbFe2電極頻率-磁場(chǎng)曲線(xiàn)[26〗??
?第一章緒論???他們深入分析了不同方向的外部磁場(chǎng)與器件Q值的關(guān)系,并且比較了采用??TbFe2電極的器件的性能,證明Ni電極MSAW器件磁敏性能優(yōu)于TbFe2電極的??MSAW器件[26],測(cè)試結(jié)果如圖1-3所示。????400.????麵[??B,?400???1側(cè)[一?一?....
本文編號(hào):4047034
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